[1]
C. Álvarez-Macías, J. Santo, o-Salazar., B. Monro, M. García-Sánchez, M. Picquart, A. Ponce, G. Contreras-Puente, G. Santana., and ., Estructura y morfología de películas de pm-Si:H crecidas por PECVD variando la dilución de diclorosilano con hidrógeno y la presión de trabajo, Rev. Mex. Fís. 57, (2011).