Leal-Romero, R., Zaldivar-Huerta, I., Re, J., noso-Hernández., Re, C., es-Betanzo., Ma, M., a-Sánchez., & Aceves-Mijares, M. (2010). Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares. Revista Mexicana De Física, 56(1), 92–0. Retrieved from https://rmf.smf.mx/ojs/index.php/rmf/article/view/3733