Álvarez-Macías, C., Re, C. and es-Betanzo. (2007) “Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS”, Revista Mexicana de Física, 53(6), pp. 488–0. Available at: https://rmf.smf.mx/ojs/index.php/rmf/article/view/3576 (Accessed: 4 July 2024).