Álvarez-Macías, C., C. Re, and es-Betanzo. “Procesos De Grabado Seco De Silicio Monocristalino Con Alta Velocidad De Grabado Y anisotropía Para Su aplicación En La fabricación De MEMS”. Revista Mexicana De Física, vol. 53, no. 6, Jan. 2007, pp. 488-0, https://rmf.smf.mx/ojs/index.php/rmf/article/view/3576.